Im Forschungsvorhaben cw-LIDT arbeitet das LZH zusammen mit der LASEROPTIK GmbH und der RAYLASE GmbH daran, Prüfverfahren für Optiken an moderne Hochleistungslaserkomponenten anzupassen. Ziel dabei ist, Optiken zuverlässig überprüfen zu können.

Schnelligkeit, hohe Uniformität und hervorragende Beschichtungsqualität – diese Eigenschaften gelten nicht nur für Verfahren der physikalischen Gasphasenabscheidung, sondern auch für die ALD-Technologie. Beneq und das LZH haben gemeinsam eine Spatial ALD-Anlage entwickelt, mit der sich komplex geformte Optiken in bisher unerreichter Geschwindigkeit beschichten lassen.

Spatial ALD, Minifilter, Mehrradien-BBM: Das LZH präsentiert auf der Optatec 2022 Zukunftstechnologien der industriellen Optik. Die Messe findet vom 18. bis zum 20. Oktober in Frankfurt statt. Das LZH ist in Halle 8 an Stand G118 zu finden.

Mit einer neuen Spatial ALD-Anlage kann das LZH ab jetzt auch komplex geformte Optiken gleichmäßig beschichten. Die innovative Anlage erzielt höhere Auftragsraten als bisher möglich – und ist unter anderem für Anwendungen im Automotive Lighting- oder auch VR/AR-Bereich interessant.