Beschaffung einer Clusteranlage

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Ziel der Beschaffung der Abteilung Optische Komponenten ist es, das enorme Potenzial der modernen ALD-Verfahren detailliert zu analysieren und langfristig für die Photonik und Anwendungen in Energie und Umwelt weiter auszubauen. Mit der Integration unterschiedlicher Verfahren in einem Clustertool können nicht nur die technischen Anforderungen an die Optikbeschichtung umgesetzt werden, sondern darüber hinaus im frühen Entwicklungsstadium die Notwendigkeit von Ressourcen- und Energieeinsparung sowie Wirtschaftlichkeit mit berücksichtigt werden.