Als qualitätslimitierender Faktor, z.B. aufgrund von verringerter Schichthaftung und Leistungsverträglichkeit sowie Verlusten durch Absorption und Streuung, stehen Partikel und andere Oberflächenunvollkommenheiten im Fokus aktueller~Forschung für die optische Industrie. Ziel des Projektvorhabens ist, die materialspezifische Partikelgeneration in Beschichtungsprozessen für die Präzisionsoptik zu identifizieren und zu reduzieren.