A. Horn
U. Klug
J. F. Düsing
J. G. Moreno
V. Schütz
O. Suttmann
L. Overmeyer
A. Lenk
B. Wojakowski

Micromachining

Ultrashort Pulse Laser Technology
Springer International Publishing
Heidelberg
155-173
2016
Type: Buchkapitel
Abstract