IKARUS – Innovative 2 µm Ultrakurzpulsstrahlquelle hoher Pulsenergie für die Materialbearbeitung

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Femtosekunden-Laser haben sich in den letzten Jahren zu einem unverzichtbaren Werkzeug für Anwendungen in vielen Bereichen entwickelt, z.B. in der Mikrobearbeitung von Materialien wie Metallen oder Keramiken. Diese Laser emittieren typischerweise im Wellenlängenbereich um 1 µm mit Pulsenergien im µJ-Bereich, Pulsdauern von wenigen 100 fs und sind mittlerweile auch in industrieller Umgebung etabliert. Große innovative Applikationsfelder, wie z.B. die 3D-Strukturierung von Silizium (Si) für die Si-basierte Photonik, die Herstellung von mikro-elektro-mechanischen Systemen für Sensoren sind jedoch mit 1 µm-Lasern nicht oder nur unzureichend adressierbar, da die Materialien in diesem Spektralbereich nicht transparent sind und deshalb keine 3D-Bearbeitung im Volumen zulassen. In diesen wichtigen Zukunftsmärkten müssen Femtosekunden-Laser mit Wellenlängen um 2 µm eingesetzt werden, die allerdings bei Weitem noch nicht den technologischen Reifegrad und die Zuverlässigkeit der 1 µm-Systeme erreichen. Das Ziel dieses Projektes ist deshalb, ein innovatives und kompaktes 2 µm-Femtosekunden-Faserlasersystem zu entwickeln, das Pulsdauern von < 500 fs bei Pulsenergien von 50 µJ ermöglicht, eine Strahlquelle, wie es sie bisher auf dem Markt nicht gibt.

Das Projekt wird in Kooperation mit der Active Fiber Systems GmbH (http://www.afs-jena.de/) durchgeführt.