Am 7. Juni 2018 stellt das Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) auf dem Innovationstag Mittelstand des BMWi 2018 in Berlin das Projekt „Evapore: Entstehungsdetektion und Vermeidungsstrategien von Mikropartikeln in Plasmabeschichtungsprozessen“ vor.

Eine große technische Herausforderung bei der Herstellung von optischen Präzisionsbeschichtungen ist die Defekt- bzw. Partikelfreiheit der Schichtsysteme. Mikrodefekte limitieren die Abbildungsqualität, Leistungsverträglichkeit und Verluste der Optiken. Die Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler des LZH entwickeln daher im Projekt ein Monitoringsystem, das bereits in der Vakuumkammer während des Beschichtungsprozesses die Partikelentstehung dokumentieren soll. Zusammen mit Partnern aus der Beschichtungs- und Optikindustrie entwickelt und evaluiert das LZH unterschiedliche Verfahren zur In-situ-Detektion.

In Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST werden die gewonnen Daten mit Simulationen des Beschichtungsprozesses kombiniert, um Partikelquellen zu identifizieren. So soll die strategische Optimierung von Prozessparametern für partikelarme Beschichtungen ermöglicht werden.

Beim Innovationstag zeigt das LZH den Aufbau eines Kamera-basierten In-situ-Partikelmonitors. Mit diesem kann in der Beschichtungsanlage die Entstehung von Partikeln auf der Oberfläche der Optik live nachverfolgt werden. Somit lässt sich rückschließen, welchen Einfluss einzelne Prozessschritte auf die Partikelbildung haben.

Zum Innovationstag Mittelstand werden mehr als 300 Austeller und nahezu 2000 Besucher erwartet. Die Veranstaltung findet auf dem Freigelände der AiF Projekt GmbH in Berlin-Pankow statt. Im Mittelpunkt stehen innovative Produkte, Verfahren und Dienstleistungen, deren Entwicklung durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (BMWi) finanziell unterstützt wurde.