Schnelligkeit, hohe Uniformität und hervorragende Beschichtungsqualität – diese Eigenschaften gelten nicht nur für Verfahren der physikalischen Gasphasenabscheidung, sondern auch für die ALD-Technologie. Beneq und das LZH haben gemeinsam eine Spatial ALD-Anlage entwickelt, mit der sich komplex geformte Optiken in bisher unerreichter Geschwindigkeit beschichten lassen.