Am 3. März luden die Abteilung Laserkomponenten des Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) und der Lehrstuhl für Allgemeine Elektrotechnik und Plasmatechnik der Ruhr Universität Bochum nach Hannover ein. Im Rahmen des Workshops „Mechanische Spannungen in PECVD/PVD abgeschiedenen Dünnschichten“ wurde mit Projektpartnern der aktuelle Forschungsstand diskutiert und eine Übersicht über Grundlagen, Entstehung und Messung mechanischer Schichtspannungen gegeben.

Mechanische Spannungen können Schädigungen der Struktur verursachen. Neben der Charakterisierung des Phänomens wurden Ansätze zur Modellierung und Simulation vorgestellt und mögliche Einflussfaktoren diskutiert. Mit Hilfe der neu gewonnenen Ansatzpunkte wollen die Forschungseinrichtungen und Industriepartner weiter daran arbeiten, Beschichtungsprozesse präziser, stabiler, schneller und dadurch auch kostengünstiger zu gestalten.

Die Veranstaltung fand statt im Rahmen des BMBF-Verbundprojektes PluTO+ (Plasma und optische Technologien) und des Sonderforschungsbereichs Transregio 87 (Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten).