Prozessanalytik für Dünnschichtprozesse
Prozessanalytik im IBS-Prozess. Bild: LZH

Das Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) bietet Messkampagnen für Dünnschichtprozesse an, die auch vor Ort an Kundenbeschichtungsanlagen durchgeführt werden können. Auf Grundlage der Messungen werden detaillierte Auswertungen mit Handlungsempfehlungen erstellt.

 

Am LZH stehen eine Reihe von Messtechnologien für die Optimierung von Prozessen und deren Parametern zur Verfügung:

  • Mit der Gegenfeldanalysator-Technologie (GFA) lassen sich energieaufgelöste Ionenstromdichten messen, beispielsweise können damit Ionenquellenparameter optimiert werden.
  • Mit der optischen Emissionsspektroskopie (OES) lässt sich beispielsweise eine reaktive Prozessführung analysieren.
  • Die prozessbegleitende, breitbandige Transmissions-/Reflexionsmessung kann das Schichtwachstum analysieren. Dies kann die Ursache von Inhomogenitäten, Interface- und Shift-Effekten klären.
  • Mit räumlich aufgelösten Messungen kann beispielsweise die Homogenität (Geometrie, Prozessparameter) optimiert werden.

Die Sensorik kann individuell an die jeweilige Prozessumgebung und Aufgabenstellung angepasst werden.

Die Auswertung der Messung erfolgt in Form eines Berichts und wird von erfahrenen Mitarbeiterinnen und Mitarbeitern auf Wunsch beim Auftraggeber präsentiert und erläutert.

Eingesetzt wird diese Dienstleistung unter anderem in folgenden Bereichen:

Optikbeschichtungen:

Analyse von folgenden Beschichtungsverfahren:

  • Ion Beam Sputtering (IBS)
  • Ionengestützte Beschichtungsverfahren (IAD)
  • Aufdampftechniken
  • DC-Sputtering-Methoden
 

 Gerne beraten wir Sie individuell. Bitte sprechen Sie uns an.