Dehnungssensorik

Dünnschicht-Dehnungsmesssensoren (Dünnschicht-DMS) ermöglichen eine exakte Kräfteermittlung auch in rauen Umgebungen über eine lange Lebensdauer. Die Strukturierung der Sensorschichten erfolgt bisher durch photolithographische Techniken und schränkt damit die wirtschaftliche Fertigung auf Anwendungen mit ebenen Werkstücken und sehr großen Stückzahlen ein. Durch die Strukturierung mittels ultrakurzer Laserpulse wird ein Verfahren entwickelt, mit dem auch kleine und mittlere Losgrößen wirtschaftlich strukturiert werden können und die Strukturierung auch auf nicht-ebenen Werkstücken vorgenommen werden kann. So soll der Einsatz von Dünnschicht-Dehnungssensoren in der Medizintechnik und der Automobilbranche ermöglicht werden.