Gruppe Nanolithographie
  • FOKUSTHEMEN

  • Lithographieverfahren für Mikro- und Nanotechnologie

  • Additive Mikro- und Nanofertigung

  • Laserablation zur Mikro-/Nanostrukturierung und Oberflächenfunktionalisierung

  • Metrologie für EUV- und Röntgenanwendungen

Profil

Die Gruppe Nanolithographie erforscht und entwickelt laserbasierte Verfahren zur Mikro- und Nanostrukturierung. Unter der Verwendung von Femtosekundenlasern kommen hier sowohl aufbauende Verfahren (additive Fertigung) als auch abtragende Verfahren (Laserablation) zum Einsatz. Zudem werden messtechnische Einrichtungen für die Untersuchung von Mikrostrukturen mit EUV- und Röntgenstrahlung entwickelt.

Die LZH-Wissenschaftler arbeiten am Aufbau von Mikroimplantaten und an der laserbasierten Funktionalisierung von Oberflächen für biomedizinische und technische Anwendungen. Die Gruppe verfügt über langjährige Erfahrung im Aufbau maßgeschneiderter Anlagen für das Direktschreiben mittels Zwei-Photonen-Polymerisation und für Femtosekunden-Laserablation.