Syrus Pro Beschichtungsanlage mit LZH Breitbandmonitor

MD-Simulation der Deposition eines Titanatoms auf einem TiO₂-Ensemble.

Untersuchung der räumlichen Ausdeh-
nung der Wechselwirkungszone bei der Deposition eines Titanatoms mit einer kinetischen Energie von 10 eV..

BBM-System: Modul zur automatisierten Reoptimierung.

Arbeitsschwerpunkte der Gruppe:

• Prozessentwicklung auf dem Gebiet der optischen Dünnschichttechnologie für Anwendungen der Präzisionsoptik, Lasertechnik und Konsumoptik
• Reaktives thermisches Verdampfen im Vakuum
• Ionen- und plasmagestützte Prozesskonzepte (IAD, Ion Assisted Deposition)
• Ionenstrahlzerstäuben (IBS, Ion Beam Sputtering)
• Optimierung von Beschichtungsverfahren, Erprobung neuer Prozessansätze und Technologien
• In-situ-Prozesskontrolle, Sensorik, Prozessdokumentation
• Erforschung der grundlegenden Wechselwirkungsmechanismen im Beschichtungsprozess
• Adaptierung von Prozesskomponenten, z. B. Ionenquellen (Plasmaanalytik)
• Qualifizierung neuer Materialien, z. B. Mischmaterialien, Kunststoffe, multifunktionale Schichten: photokatalytische Aktivität (u.a. antimikrobielle Wirkung)
• Software-Tools: Design, Simulation, Qualitätssicherung
• Umsetzung und Beratung für die industrielle Fertigung, Technologiestudien

Aktuelle wissenschaftliche Arbeiten und Projekte:

• Erforschung von HfO²-basierten Mischschichten für den Einsatz in Laseroptiken bei der Wellenlänge 355 nm, Erhöhung der Laserfestigkeit gegenüber klassischen Reinmaterialien und Optimierung der Beschichtung von LBO-Kristallen
• Steigerung der Prozessausbeute und Präzision mittels eines breitbandigen optischen Schichtdickenmonitors
  (BBM): Umsetzung einer automatisierten Fehlerkorrektur sowie einer maßgeschneiderten Simulationsumgebung in die industrielle Produktion
• Erweiterung des Prozessverständnisses plasmabasierter Verfahren, Entwicklung von in-situ-Analytik zur Charakterisierung des Plasmas sowie der Zusammensetzung des gesputterten Materials (Spezies und Energieverteilungen)
• Modellierung des Schichtwachstums, Programmierung und Einsatz molekulardynamischer Simulationen, Zusammenführung mit den Ergebnissen der in-situ-Analytik
• Realisierung optischer Polymerschichten: Einsatz von Magnetron-Sputtertechnologie und Aufbau einer angepassten IBS-Anlage