Gruppe Prozessentwicklung
  • FOKUSTHEMEN

  • Prozesse für die optische Dünnschichttechnologie

  • Innovative Materialien für funktionale optische Beschichtungen

  • In-situ-Prozesskontrolle

  • Software für Simulationen und Qualitätsmanagement

Profil

Die Entwicklung und Optimierung von Prozessen für die optische Dünnschichttechnologie bilden die Arbeitsschwerpunkte der Gruppe Prozessentwicklung. Anwendungsgebiete sind die Präzisionsoptik und Lasertechnik, aber auch die Konsumoptik.

Die LZH-Wissenschaftler verbessern etablierte Beschichtungsverfahren, erproben neue Ansätze und Technologien und erforschen grundlegende Wechselwirkungsmechanismen im Beschichtungsprozess. Als Verfahren kommen dabei unter anderem das reaktive thermische Verdampfen im Vakuum, Ionen- und plasmagestützte Prozesse (Ion Assisted Deposition, IAD) sowie das Ionenstrahlzerstäuben (Ion Beam Sputtering, IBS) zum  Einsatz. Auf Kundenwunsch loten die LZH-Wissenschaftler das Potenzial dieser Beschichtungsverfahren auch in groß angelegten Machbarkeitsstudien aus.

Auch die Adaptierung einzelner Prozesskomponenten, wie zum Beispiel Ionenquellen, und die In-situ-Prozesskontrolle zur Steigerung der Präzision und Reproduzierbarkeit sowie die Dokumentation gehören zu den Kompetenzen der Gruppe.

Bei der Entwicklung und Qualifizierung neuer Schichtmaterialien gehen die Forscher nun ganz neue Wege: Polymerfolien sollen mit funktionalen Hybridschichten (organisch/anorganisch) ausgestattet werden, die beispielsweise Schutz-, Entspiegelungs- oder Filterfunktionen bieten.

Die Erkenntnisse der Gruppe fließen regelmäßig in die Weiterentwicklung des Optischen Breitbandmonitors (BBM) und die integrierte Simulations- und Qualitätsmanagement-Software ein.