Beschichtungen

Ionenstrahl einer Radiofrequenz (RF) Ar-Quelle mit Dreigitter-Extraktionssystem.

Arbeitsschwerpunkte

Entwicklung und Herstellung optischer Funktionsschichten
Multilayerdesignentwicklung für Optiken zum Einsatz in Lasersystemen, Messtechnik, Astronomie und Wissenschaft
Auswahl geeigneter Depositionsverfahren
Vergütung von Lasermaterialien und SHG Kristallen mit dielektrischen Beschichtungen
Vergütung von Faserfacetten mit Anti-Reflexions- und High Finesse HR-Beschichtungen
Vergütung von Quarz und Glas, sowie CaF² und BaF² Substraten mit komplexen Schichtdesigns
Deposition diskreter Schichtsysteme
Deposition von Gradientenschichten und Rugatefiltern
Deposition von Mischmaterialien mit einstellbarem Brechungsindex
Herstellung von lötfahigen Metall-Dielektrika-Übergängen
Machbarkeitsstudien zur Optikentwicklung
Bereitstellung eines leistungsfähigen Services zur Konzeption und schnellen Realisierung von neuen Optiklösungen zur Verfügung für Systementwickler und Grundlagenforscher

Aktuelle wissenschaftliche Arbeiten und Projekte

Die Entwicklung und Herstellung optischer Funktionsschichten steht im Zentrum der Arbeiten der Gruppe Beschichtungen. Es wurden speziell angepasste und optimierte Schichtsysteme für Anwendungen im Spektralbereich vakuum-ultraviolette Strahlung bis mittleres Infrarot (130 nm – 5 μm) realisiert. Schlüsselparameter dabei ist die jeweils zur Aggregation der Teilchen zur Verfügung stehende Energie.

Zur Deposition der Schichtsysteme kamen komplementäre Beschichtungsverfahren zum Einsatz: So stehen Ionen Strahl Zerstäubungsanlagen (Ion Beam Sputtering IBS), Systeme zum ionengestützten Aufdampfen und konventionelle Elektronen-
Beam bzw. Verdampfungsanlagen zur Verfügung. Daneben werden DC/RF Sputtersysteme zur Deposition von Metallschichten aber auch dielektrischer Materialien eingesetzt.

Alle Anlagen zur Herstellung komplexer Schichtsysteme sind mit BBM-Systemen ausgestattet. Die Multilayerstrukturen werden damit automatisch, sicher und äußerst stabil mit Schichtzahlen bis in den dreistelligen Bereich produziert.

Mit der vorhandenen Systemtechnik können zahlreiche Anforderungen für Optikanwendungen realisiert werden. In Zusammenarbeit mit den Anwendern wurden Lösungen für Optiksysteme aus verschiedensten Bereichen, wie zum Beispiel
Lasertechnik, Halbleitertechnik, Messtechnik, Astronomie oder Beleuchtungssysteme, entwickelt. Dieser Gestehungsprozess
umfasst jeweils die Umsetzung der optischen Spezifikation in ein Schichtdesign und die anschließende Beschichtung selbst. Wichtige Parameter sind dabei die optische Qualität, die Leistungsfestigkeit und Umweltstabilität, aber natürlich auch die Kosten des Produktionsprozesses.

Die Gruppe Beschichtungen stellt dem Systementwickler und Grundlagenforscher einen leistungsfähigen Service zur Konzeption und schnellen Umsetzung von neuen Optiklösungen zur Verfügung.

Depositionsverfahren

Ionenstrahlsputtern (IBS)
Ionengestützte Prozesse (IAD)
Konventionelle Aufdampfverfahren
Direct Current (DC) Sputtering

Schichtoptimierungsprozeduren

Programmpaket SPEKTRUM (LZH)
OPTILAYER (MSU-Moskau)
Essential Macleod (Tucson, USA)

Beschichtungsprogramm Spiegelbeschichtungen

Resonatorspiegel
Umlenkspiegel
Scannerspiegel
Dichroitische Spiegelsysteme mit strengen Anforderungen an Kantensteilheit und Transmissionseffizienz
High Finesse Spiegel auf superpolierten Oberflächen
High Finesse Spiegel auf Faserendflächen

Anti-Reflexionschichten

AR Beschichtungen für den UV, sichtbaren und NIR Spektralbereich
Breitband AR Beschichtungen für den UV, sichtbaren und NIR Spektralbereich
Doppel und Multiband AR-Beschichtungen mit niedrigsten Restreflektivitäten (<0,05 %)
Multi Band AR-System auf minimalen Restreflexionen für resonatorinterne Systeme zur Frequenzkonversion