IBS Beschichtungssystem der Abteilung Laserkomponenten

Der Ursprung der Abteilung Laserkomponenten datiert zurück bis zu Beginn der 1970-iger Jahre auf die Arbeitsgruppe „Dielektrische Schichten“  des damaligen Instituts für Angewandte Physik der Universität Hannover. Im Zuge von mittlerweile nahezu vier Jahrzehnten Forschungstätigkeit auf dem Gebiet der beschichteten Hochleistungs-Komponenten konnten wichtige Beiträge zu der Entwicklung von ionengestützten Beschichtungsverfahren (IAD) und Ion Beam Sputtering (IBS) Prozessen sowie zur hochpräzisen Kontrolle von Beschichtungsabläufen und zur Charakterisierung von Laserkomponenten geleistet werden. Die umfangreiche Labor- und Reinrauminfrastruktur umfasst neben dem Beschichtungsbereich normgerechte Charakterisierungseinrichtungen für Übertragungseigenschaften vom VUV- bis in den FIR-Spektralbereich, optische Verluste, laserinduzierte Zerstörschwellen und die Stabilität optischer Komponenten.

Im Vordergrund der aktuellen Forschungsarbeiten der Abteilung Laserkomponenten stehen komplexe Schichtsysteme für Hochleistungs-Lasersysteme, die optische Messtechnik und die Inspektionstechnik. Neben neuen Prozesskonzepten und innovativen Kontrollverfahren für Beschichtungsprozesse hat das LZH Kompetenz bei der Programmierung von optischen Monitorsystemen sowie von hochpräzisen Anlagensteuerungen aufgebaut. Mit diesen Entwicklungen wurden neue Wege für die kontrollierte Herstellung von ternären Schichtphasen und von Strukturen mit einer kontinuierlichen Variation des Brechwerts eröffnet. Viele Ansätze im Bereich der Grundlagenforschung konzentrieren sich gegenwärtig auf ein Verständnis der bisher nicht eingehend erforschten Eigenschaften solcher Schichtstrukturen mit definierten Mischphasen. Die Optimierungsarbeiten in der Prozessentwicklung werden unterstützt durch eine umfangreiche Optikcharakterisierung, die auch als Serviceleistungen zur Bestimmung der optischen Verluste, der laserinduzierten Zerstörschwellen und weiteren Qualitätsmerkmalen angeboten wird. Vor dem gesamtem Erfahrungshintergrund der Forschungsarbeiten werden Beschichtungen nach Kundenwunsch in kleinen Losgrößen angeboten.

Insbesondere finden die VUV-Spektralphotometer, Breitbandspektrometer für die Prozesskontrolle sowie Aufbauten nach ISO-Standards der Abteilung mittlerweile Einsatz in Industrieunternehmen und Forschungseinrichtungen vieler Länder. Die Abteilung ist auch tätig im Bereich der Entwicklung von Standards für die Prüfung und Bemusterung von optischen Komponenten. Nicht zuletzt konnte im Rahmen des Exzellenzclusters QUEST (Quantum Engineering and Space Time Research) eine Arbeitsgruppe „Advanced Materials“ eingerichtet werden, die sich auf Grundlagenforschung im Bereich der Ionenstrahl-Zerstäubungsprozesse konzentriert.